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傳感器相關資訊

精準控制蝕刻工藝，INFICON殘余氣體分析儀助力半導體制造精準又高效

　　半導體制造是技術創新的核心，推動著電子、計算與通信領域的飛速發展。隨著設備功能越來越強、體積越來越小，行業不斷挑戰著微型化的極限，尤其是在納米級高密度芯片的制造中，蝕刻工藝的精度與控制變得尤為關鍵。　　INFICON憑借在先進儀器與傳感器技術方面的專業積累，始終走在應對這些挑戰的前沿。我們提供新…
如何實時監測半導體工藝中的安瓿是否耗盡與泄漏？

　　在半導體制造中，工藝的精確性與一致性至關重要�；瘜W氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）等先進的沉積技術依賴安瓿來儲存和輸送前驅體，以形成厚度精確、性能一致的薄膜。若安瓿在工藝過程中耗盡而未及時被發現，將導致薄膜不均勻、缺陷增多甚至器件失效，嚴重影響整批晶圓的質量。此類故障不僅會降低良率，還會…
選對晶體，事半功倍！下載INFICON指南，掌握石英監測晶體的選型秘訣

　　在基于石英晶體的測量系統中，監測晶體的選擇直接決定了測量結果的準確性與穩定性。尤其在嚴苛的工藝環境下，為您的應用選擇適合的 INFICON 晶體至關重要�！　∫蕴柲茈姵刂圃鞛槔�，大面積鍍膜常采用濺射工藝，并通過 QCM （石英晶體微量天平）實時監測膜厚以確保均勻性。但挑戰在于：濺射過程產生的大…